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Lasertec的新检测系统对于推进EUV光刻至关重要,EUV光刻是下一代半导体制造的基石。通过实现对掩模坯更精确的缺陷检测,该技术直接解决了生产更小、更强大芯片的主要挑战。这提高了制造良率并降低了代工厂的成本,从而加速了先进电子产品在整个技术行业的部署。
已收到多个订单,表明市场对先进EUV掩模检测工具的需求强劲
该技术旨在提高掩模工厂的质量和制造流程
Lasertec推出新型MAGICS M9750/M9751系统,用于下一代半导体掩模坯检测
系统具备更高的灵敏度和吞吐量,以改进微小缺陷检测
已收到多个订单,表明市场对先进EUV掩模检测工具的需求强劲
Lasertec已推出面向下一代芯片的新型掩模坯检测系统MAGICS M9750/M9751。这些系统提高了检测微小缺陷的灵敏度和吞吐量,满足了先进EUV光刻的关键需求,并提高了半导体制造良率。
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